四、電學(xué)測試兼容性

• 測試信號(hào)范圍：
  需兼容直流（DC）、低頻交流（AC）、射頻（RF）等信號(hào)，射頻探針臺(tái)需標(biāo)注 工作頻率范圍（如 DC-110GHz），并提供對應(yīng)的阻抗匹配（通常為 50Ω）。

• 泄漏電流：
  低溫環(huán)境下需控制探針臺(tái)的漏電流 ≤10?12A，避免干擾微弱信號(hào)測試（如半導(dǎo)體器件的反向漏電流）。

• 接地電阻：
  要求 ≤0.1Ω，減少接地噪聲對測試的影響。

五、光學(xué)觀察系統(tǒng)

• 顯微鏡放大倍數(shù)：
  通常為 10-500 倍 連續(xù)可調(diào)，部分配備 金相顯微鏡或紅外顯微鏡，用于觀察樣品表面和探針接觸狀態(tài)。

• 視場范圍：
  與放大倍數(shù)對應(yīng)，低倍時(shí)視場大（如 10 倍下視場直徑≥10mm），高倍時(shí)用于精細(xì)對準(zhǔn)（如 500 倍下視場直徑≥0.5mm）。

• 照明方式：
  明場、暗場、熒光照明等，確保在高低溫環(huán)境下（可能有冷凝 / 結(jié)霜）仍能清晰觀察。

六、機(jī)械結(jié)構(gòu)參數(shù)

• 系統(tǒng)穩(wěn)定性：
  振動(dòng)振幅 ≤0.5μm（在 10-200Hz 頻段），避免外界振動(dòng)影響探針接觸穩(wěn)定性。

• 工作臺(tái)承重：
  樣品臺(tái)最大承重通常為 1-5kg，滿足不同尺寸樣品或夾具的放置需求。

• 外形尺寸與重量：
  常規(guī)尺寸約 1000×800×1500mm（長 × 寬 × 高），重量 500-1500kg，需考慮實(shí)驗(yàn)室空間和承重要求。

七、其他輔助參數(shù)

• 控制系統(tǒng)：
  支持計(jì)算機(jī)軟件（如 LabVIEW、自定義軟件）或觸摸屏操作，可預(yù)設(shè)溫度曲線、自動(dòng)記錄數(shù)據(jù)。

• 安全保護(hù)：
  過溫保護(hù)、真空 / 氣體泄漏報(bào)警、探針過載保護(hù)等，確保設(shè)備和樣品安全。