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當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章普泰克-高低溫探針臺測試技術(shù)參數(shù)
測試信號范圍:需兼容直流(DC)、低頻交流(AC)、射頻(RF)等信號,射頻探針臺需標(biāo)注 工作頻率范圍(如 DC-110GHz),并提供對應(yīng)的阻抗匹配(通常為 50Ω)。
泄漏電流:低溫環(huán)境下需控制探針臺的漏電流 ≤10?12A,避免干擾微弱信號測試(如半導(dǎo)體器件的反向漏電流)。
接地電阻:要求 ≤0.1Ω,減少接地噪聲對測試的影響。
顯微鏡放大倍數(shù):通常為 10-500 倍 連續(xù)可調(diào),部分配備 金相顯微鏡或紅外顯微鏡,用于觀察樣品表面和探針接觸狀態(tài)。
視場范圍:與放大倍數(shù)對應(yīng),低倍時視場大(如 10 倍下視場直徑≥10mm),高倍時用于精細(xì)對準(zhǔn)(如 500 倍下視場直徑≥0.5mm)。
照明方式:明場、暗場、熒光照明等,確保在高低溫環(huán)境下(可能有冷凝 / 結(jié)霜)仍能清晰觀察。
系統(tǒng)穩(wěn)定性:振動振幅 ≤0.5μm(在 10-200Hz 頻段),避免外界振動影響探針接觸穩(wěn)定性。
工作臺承重:樣品臺最大承重通常為 1-5kg,滿足不同尺寸樣品或夾具的放置需求。
外形尺寸與重量:常規(guī)尺寸約 1000×800×1500mm(長 × 寬 × 高),重量 500-1500kg,需考慮實(shí)驗(yàn)室空間和承重要求。
控制系統(tǒng):支持計(jì)算機(jī)軟件(如 LabVIEW、自定義軟件)或觸摸屏操作,可預(yù)設(shè)溫度曲線、自動記錄數(shù)據(jù)。
安全保護(hù):過溫保護(hù)、真空 / 氣體泄漏報警、探針過載保護(hù)等,確保設(shè)備和樣品安全。
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