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溫濕度調(diào)節(jié)裝置在基板曝光前，能有效維持其表面溫度的均一性。經(jīng)過此設(shè)備處理后的空氣，溫度控制精度可達目標值±0.01℃，充分滿足制程環(huán)境對溫控的要求。